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Entwicklung von Hochtemperatur-Schichtsystemen für MEMS Anwendungen mittels Atmosphärendruck-Sputtertechnologie (APSLD)

Betreute Promotion › Abgeschlossen › 2024

Doktorand_in

Jan Bickel

Betreuung an der Â鶹¹ú²ú

Prof. Dr.-Ing. Ha Duong Ngo

Kooperierende Universität

TU Berlin